半導體精密運動平臺

• 半導體精密運動平臺XY軸采用直線電機驅(qū)動，滑塊滾柱導軌導向及光柵尺閉環(huán)反饋組成，R軸直驅(qū)電機驅(qū)動可實現(xiàn)360°旋轉(zhuǎn)，Z軸布置于平臺大理石橫梁，常用于半導體精密制造及檢測。

• 產(chǎn)品參數(shù)

  Tips：絲桿直線模組行程超過750mm時，會產(chǎn)生螺桿偏擺，此時請將降低速度，詳情參數(shù)及選型建議咨詢業(yè)務人員。